MICROSCOPIO ELETTRONICO A SCANSIONE JSM-6510 LV

 

Caratteristiche
 

 JSM-6510LV è un SEM con filamento al tungsteno, in basso vuoto, ideale per failure analisys, controllo e caratterizzazione dei materiali, etc.. che riunisce le alte prestazioni ad un costo competitivo e consente la rapida caratterizzazione di strutture molto fini.

Appartiene ad una famiglia di quattro modelli ampiamente utilizzati in tutti i settori di R&D e applicazioni industriali; la camera portacampioni alloggia campioni fino a diam. 150 mm.
 Permette l'osservazione di oggetti non ispezionabili ad alto vuoto a causa di un eccessivo contenuto di acqua o perchè non conduttivi. Unisce l'alta risoluzione ad una notevole versatilità ed una semplice interfaccia utente ne consente l'impiego anche ad operatori che non hanno una particolare familiarità con questo tipo di apparecchiature.
 
 
 

 Al minimo ingrandimento è possibile inquadrare un campo visivo di 25 mm nel quale localizzare l'area di interesse; l'operatore può agevolmente modificare gli ingrandimenti in continuo senza alcuna variazione di messa a fuoco e visualizzare rapidamente l'area di interesse ad alto ingrandimento.

A basso voltaggio (1kV) possono essere osservate strutture molto fini su campioni non conduttivi e senza metallizzazione.

Il SEM può essere up-gradato per operazioni in basso vuoto.

 Il sistema ottico elettronico consente l'elevata risoluzione di 3.0 nm a 30kV; JSM-6510 offre una sorprendente nitidezza anche nella visualizzazione delle strutture più fini.

Grazie agli automatismi operativi (dispositivi di autoregolazione del cannone elettronico, contrasto, luminosità, astigmatismo, etc.) dopo pochi minuti di evacuazione della camera portacampioni l'operatore può osservare il campione semplicemente premendo il tasto ON e iniziare immediatamente ad usare lo strumento seguendo le opzioni del potente software in dotazione con lo strumento menu interfaccia utente
 
Dati tecnici
Risoluzione

3.0 nm (30kV) in alto vuoto

4..0 nm (30kV) in basso vuoto
Tensione di accelerazione 0.5 a 30 kV
Ingrandimenti x5 a 300,000 (formato foto a 128mm x 96mm)
Filamento Pre-centrato W hairpin filament (with continuous auto bias)
Lente

Super conica

Apertura lente Tre posizioni, controllabile in direzione X/Y

Massima dimensione del campione
GS Type stage 32mm full coverage
LGS Type stage 125mm dia. full coverage (152.4mm dia. loadable)

Tavolino portacampioni**
Tavolino tipo GS Goniometro eucentrico
X=20mm, Y=10mm, Z=5mm-48mm
R=360° (endless)
Tilt -10/+90° 
Tavolino tipo LGS Goniometro eucentrico
X=80mm, Y=40mm, Z=5mm-48mm
R=360° (endless)
Tilt -10/+90°
(controllato da PC 2, 3 o 5 assi motor drive: opzione)
** Il tavolino (GS o LGS) deve essere specificato al momento dell'acquisto.
 
Si.Mi.Tecno srl   -   P.I. 05863031000

Sede di Roma: Via Marcello Gallian, 68 - 00133 Roma - Tel/Fax 06 7234320