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Alto vuoto"failure analysis", analisi di routine,
caratterizzazione dei materiali |
Basso vuoto"imaging"... analisi di elementi umidi...
non
condutivi... campioni non metallizzati... |
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4 configurazioni opzionali |
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Modello |
Risoluzione |
Tensione Volt |
Ingrandimenti |
Tavolino |
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jsm-6510 |
3.0nm |
0.3 to
30 kV |
x5 a
300,000 |
Tipo
GS : X=20mm, Y=10mm |
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Tipo
LGS : X=80mm, Y=40mm |
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JSM-6510 LV |
HV
3.0nm
LV 4.0nm |
0.5 to
30 kV |
x5 a
300,000 |
Tipo
GS : X=20mm, Y=10mm |
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Tipo
LGS : X=80mm, Y=40mm |
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jsm-6610 |
3.0nm |
0.3 to
30 kV |
x5 a
300,000 |
X=125mm, Y=100mm |
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JSM-6610 LV |
HV
3.0nm
LV 4.0nm |
0.3 to
30 kV |
x5 a
300,000 |
X=125mm, Y=100mm |
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